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[期刊论文] 作者：T.F Wrobel,D.C Evans,胡绍武,
来源：微电子学 年份：2004
本文论述了器件在快速中子脉冲群的辐照以后,有关迅速退火的几种新工艺。已发现“劈出”(breakout)器件的退火响应和已有工艺模型的预计值相一致。并给出了从已有模型得到的...
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