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The Langmiur Probe and Optical Emission Spectroscopy Diagnostics of Dual-frequency Capacitively
[会议论文] 作者：G. Q. Yin,Y. Xin,Z. Y. Ning, 来源：2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议 年份：2011
Dual-frequency capacitively coupled plasmas (DF-CCPs) have attracted the attention of many authors in recent years.DF-CCPs are used to achieve independent control of ion flux and ion bombardment energ...
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