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Ti-N多层膜的显微结构和压痕行为
[期刊论文] 作者：A.WAGENDRISTEL,黄荣芳,H.BANGERT,杨霞,吴立航,王海峰,H.PANGRATZ,P.SKALICKY,, 来源：金属学报 年份：1992
研究了Ti/TiN多层膜的显微结构,横截面试样的透射电镜研究和二次离子质谱深度分析均表明,该膜具有周期变化的多层结构,即:基体/FeTi/Ti/Ti_2N/TiN/Ti_2N/Ti/Ti_2N/TiN…Ti/Ti...
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