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[期刊论文] 作者：Ian G·Brown,吴健昌,
来源：微细加工技术 年份：1992
利用金属气化真空弧离子源(以下简称Mevva)形成金属等离子体,然后从中引出离子束是一种很有效的产生大束流金属离子束的技术。周期表上几乎所有的固体金属都可通过这种技术产...
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