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[期刊论文] 作者:Ivor Brodie,陈培杕,,
来源:光电子学技术 年份:1990
本文阐述在真空三极管尺寸减小到目前固体微电子器件常用的微米与亚微米量级时应考虑的物理问题。对于超高速器件来说,已证实在0.5μm 电极间距问的真空渡越时间为最好的固体...
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