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[期刊论文] 作者：J. Zieglerl,D. Eich,M. Mahlein,
来源：云光技术 年份：2012
三代红外探测器组件——双色（DC），双波段（DB）以及大规模2-DY0阵要求精细的生产技术：诸如分子束外延（MBE）以及新的列阵制备工艺，此类技术可以满足日趋复杂的器件结构及低成本的需求。AI......
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