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[会议论文] 作者：K.K.Christenson,
来源：2007年中国集成电路产业发展研讨会暨第10届中国半导体行业协会集成电路分会年会 年份：2007
注入量超过5E14atoms/cm2能在光阻表面造成一个无定形碳似的损伤层(硬壳)，这很难被湿法化学品溶解。在湿法去胶中，没有或轻微损伤的光阻会很快的被溶解，硬壳就被底切和释放。那...
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