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[期刊论文] 作者：Yasuo Tarui,Katsumi Aota,Koichi Kamisako,Shinji Suzuki,Tatsumi Hiramoto,孙建诚,,
来源：微电子学与计算机 年份：1988
本文论述了使用一种灯与反应室为统一体的新型光CVD法.这种没有灯管和反应室窗口的光CVD系统有利于短波长光的辐射.在没有汞敏化剂的情况下,采用一体反应器,从硅烷气体淀积a-...
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