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[期刊论文] 作者：Kenji Okamoto,缪承纪,,
来源：光电子学技术 年份：1990
本文研究了双靶射频磁控溅射装置,能重复制作明亮的 ZnS∶TbOF薄膜电致发光绿色显示板。ZnS 和 Tb 由各自的靶进行溅射,基片在这两靶间运动。这种设计导致 ZnS 厚度及 Tb 掺...
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