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[期刊论文] 作者:唐电,魏喆良,邵艳群,孙荆华,LEE Ye-kun,游少鑫,, 来源:中国有色金属学报 年份:2003
采用乙醛酸代替有害的化学药品(如甲醛)作为还原剂的化学镀技术, 在工业纯铝片、工业纯钛片、以TiN作为扩散防护层的硅片和以TiSiN作为扩散防护层的硅片等难镀材料实现了化学...
[期刊论文] 作者:唐电,魏喆良,邵艳群,孙荆华,LEE Ye-kun,游少鑫,李敬业, 来源:中国有色金属学报 年份:2003
采用乙醛酸代替有害的化学药品 (如甲醛 )作为还原剂的化学镀技术 ,在工业纯铝片、工业纯钛片、以TiN作为扩散防护层的硅片和以TiSiN作为扩散防护层的硅片等难镀材料实现了化...
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