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[期刊论文] 作者：LiuS.T.,秦邻,
来源：微电子学 年份：1991
本文讨论了制作绝缘体上硅(SOI)结构的外延横向过生长技术(ELO),并通过在SOI结构上制作的nMOS晶体管验证ELO SOI材料质量和器件总剂量加固性能。在SOI结构上制作的nMOS晶体管...
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