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SiC nanowire-based SU-8 with enhanced mechanical properties for MEMS structurallayer design
[期刊论文] 作者：Yu Yang,Liyan Lai,Guifu Ding,T, 来源：纳米技术与精密工程(英文) 年份：2019
In addition to being used for pattern transfer,the negative photoresist SU-8 iswidely used as a structural material in microelectromechanical systems(MEMS).Due...
SiC nanowire-based SU-8 with enhanced mechanical properties for MEMS structural layer design
[期刊论文] 作者：Yu Yang,Liyan Lai,Guifu Ding,Ting Chen, 来源：纳米技术与精密工程（英文） 年份：2019
In addition to being used for patt transfer, the negative photoresist SU-8 is widely used as a structural material in microelectromechanical systems (MEMS). Due...
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