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[期刊论文] 作者：姜志雄,查良镇,M．Schuhmacher,D．Renard,
来源：真空科学与技术 年份：1995
评述了国际上δ掺杂样品ＳＩＭＳ分析的现状，研究了相关的基础实验技术，讨论了分析硅δ掺杂的ＡｌＧａＡｓ样吕时，选择高质量分辨及对不同一次离子参量下相对灵敏度因子进行校准的必须性，考察了一次束......
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