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[期刊论文] 作者：ShuichiShoji,ShigeruNakagawa,MasayoshiE(?)ashi,柯导明,
来源：电子器件 年份：1990
用微机械加工的方法,可以制作超小型的高性能化学传感器和用作流量控制的微型阀.如果这些器件被集成在一块硅片上,就能制成非常小的常规化学分析系统.这种微型分析系统优点是...
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