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二维流体模型的建立及其在微晶硅薄膜中的应用
[期刊论文] 作者：张发荣,张晓丹,Amanatides E,Matras D,, 来源：光电子．激光 年份：2008
建立二维流体模型，研究甚高频等离子体化学气相沉积（VHF-PEVCVD）高速沉积氢化微晶硅（μc-Si2H）薄膜。模型采用平行电容耦合放电方式。模拟条件与实验条件相同，均为甚高频（70MHz）、高H......
二维流体模型的建立及其在微晶硅薄膜中的应用
[期刊论文] 作者：张发荣,张晓丹,Amanatides E,Matras D,, 来源：光电子·激光 年份：2004
建立二维流体模型,研究甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PEVCVD)高速沉积氢化微晶硅(μc-Si:H)薄膜.模型采用平行电容耦合放电方式. 模拟条件与实验条件相同,均为甚高频(70 M...
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