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Probe and Emission Spectrometry Diagnostics in Hollow Cathode Magnetron
[期刊论文] 作者：N. P. Poluektov,Yu P. Tsar’gor, 来源：现代物理(英文) 年份：2012
This paper deals with the characterization of an ionized physical vapor deposition (IPVD) by means of hollow cathode magnetron. Langmuir probe, optical emission...
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