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[期刊论文] 作者:ZHANG Zhihui,WU Xuemei,NING Zhaoyuan,
来源:黑龙江科技信息 年份:2014
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Experimental Characterization of Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasma with Inductive Enhanceme
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来源:黑龙江科技信息 年份:2013
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