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采用金属镓层氮化技术在石英衬底上生长多晶GaN

[期刊论文] 作者：邵庆辉,叶志镇,Nasser,N.Morgan,顾星,黄靖云, 来源：真空科学与技术年份：2003

随着多晶GaN材料发光研究的不断深入,大面积、价格低廉的多晶GaN基光电器件的研制已成为工业生产中一个重要的研究领域.石英玻璃以其自身特有的优势,成为生长多晶GaN材料的较...

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采用金属镓层氮化技术在石英衬底上生长多晶GaN

[期刊论文] 作者：邵庆辉,叶志镇,Nasser N.Morgan,顾星,黄靖云,赵炳辉, 来源：真空科学与技术年份：2003

随着多晶GaN材料发光研究的不断深入 ,大面积、价格低廉的多晶GaN基光电器件的研制已成为工业生产中一个重要的研究领域。石英玻璃以其自身特有的优势 ,成为生长多晶GaN材料...

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