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[期刊论文] 作者：Wang,Ziping Li,Liping Zhang,Zhanglong Fu,Xiaomeng Zhao,Hua Li,Tiangui You,Li Yue,Jiaxiang Zhang,Niefeng Sun,
来源：中国科学：物理学 力学 天文学（英文版） 年份：2021
In this paper,InGaAs p-i-n photodetectors (PDs) on an InP/SiO2/Si (InPOI) substrate fabricated by ion-slicing technology are demonstrated and compared with the identical device on a commercial InP substrate.The quality of epitaxial layers o......
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