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[期刊论文] 作者：Rene Vervoordeldonk,Peter Willemse,Roel Kramer,童志义,,
来源：半导体设备 年份：1985
本文研究了在1:1光学扫描式光刻机中影响套准精度的一些因素。评价了部分此类设备的综合套准精度。通过采用基于光学原理的精细图形技术或是基于电气原理的自动测量枝术,收集...
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