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[期刊论文] 作者：R·Haycock,郑海起,,
来源：光学仪器 年份：1982
为了控制具有长行程的液氮致冷干涉仪的可移动镜面在非常精确的范围内运动,应用了气体润滑滑板作为移动平台。获得了这样的控制:直线轨迹的锥角偏差小于0.6328μm波长的1/5;...
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