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[期刊论文] 作者：R. Monot,H. Van den Ber■h,
来源：中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学) 年份：1984
本文以四甲基锡与Pt(CFACAC)作为工作物质,通过激光光致热分解和光分解,在石英基片上和电子显微镜碳膜上沉积锡膜与铂膜,研究光分解和光致热分解产生的膜层的结构与形成,测定膜层的沉积速率。文中给出了膜层沉积速率的一种新测定方法,用该方法可测定工作物质的......
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