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[期刊论文] 作者：ORJI N G,RAJA J,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
回顾了步进高度测量技术在纳米计量中的应用 .分析了在步进高度测量技术中的一些分析方法、算法和误差源 ,表明了不同的算法会导致不同的结果 .提出了步进高度测量中的最佳操...
[期刊论文] 作者：MURALIKRISHNAN B,BUI Son H,RAJA J,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
表面结构的测量与特征描述是精密计量技术的一个重要方面 ,传统上包括将轮廓情况根据不同的波长范围划分为粗糙度、波纹度和形状及后续的数字量化 .按算得的参数检查它是否为...
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