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[期刊论文] 作者：Richard Bersin,Amanda Horn,Han Xu,Mohamed Boumerzoug,Douglas Dopp,姜健,
来源：真空 年份：2003
除去干刻或高剂量等离子注入后的光刻胶 ,一般是采用化学溶剂和酸类等湿刻法 ,以前有时采用干燥氧的等离子灰化法。然而成本高 ,具有危险性和污染性的化学湿刻法直接造成了环...
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