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[期刊论文] 作者：沈毅,SARAJLICE,周伟,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2007
分析了MEMs数据存储器机构中柔性弹簧的线性大位移驱动特性，提出了一种等效数值模型，并利用该模型等效替换数据存储器驱动机构的关键部位，保留了MEMS数据存储器驱动机构的实际工......
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