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千兆赫声表面波振荡器用的延迟线滤波器的制作及性能
[期刊论文] 作者：JiroTemmyo,ShokichiroYoshikawa,杨清宗, 来源：压电与声光 年份：1980
用线宽0.58微米声表面波(SAW)双叉指换能器(4F叉指换能器)的三次谐波通带制成了无外部滤波和匹配网络的2千兆赫SAW振荡器.本文以亚微米图案形成工艺的现有水平为基础,讨论了...
千兆赫声表面波石英横向滤波器
[期刊论文] 作者：JiroTemmyo,ShokichiroYoshikawa,杨清宗, 来源：压电与声光 年份：1980
本文叙述千兆赫声表面波(SAW)石英横向滤波器的制作权限和具体性能。首先研究了铝金属化石英上SAW超精细叉指换能器的制作极限,这种叉指换能器用普通光刻法即光投影复印和接...
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