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[期刊论文] 作者：Margarete Zoberbier,Stefan Lutter,Marc Hennemeyer,Dr.-Ing.Barbara Neubert,Ralph Zoberbier,
来源：电子工业专用设备 年份：2004
三维集成的技术优势正在延伸到大量销售的诸如消费类电子设备潜在应用的产品领域.这些新技术也在推进着当前许多生产工艺的包封能力,其中包括光刻工艺和晶圆键合.>还需要涂胶...
[期刊论文] 作者：Margarete Zoberbier,Stefan Lutter,Marc Hennemeyer,Dr.-Ing. Barbara Neubert,Ralph Zoberbier,,
来源：电子工业专用设备 年份：2009
三维集成的技术优势正在延伸到大量销售的诸如消费类电子设备潜在应用的产品领域。这些新技术也在推进着当前许多生产工艺的包封能力,其中包括光刻工艺和晶圆键合。> 还需要...
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