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[期刊论文] 作者:T.F.Deutsch, 来源:激光与光电子学进展 年份:1966
在纯的OCS和OCS-Na,OCS-He、OCS-CO和OCS-CO-He混合物的脉冲放电中,已获得激光作用。在8.39微米和8.25微米附近观察到31种波长发射;在5.1和5.7微米之间,观察到29种波长发射。8.39微米的激光作用源自OCS的00°1-10°0振动带的Ρ支的跃迁,而5微米附近的激光作用则起因......
[期刊论文] 作者:T.F.DEUTSCH,D.J.SILVERSMITH,R.W.MOUNTAIN,孙建诚,, 来源:微电子学与计算机 年份:1988
用193nm ArF准分子激光器辐射激发SiH_4和NH_3反应,在200~600℃基片温度下,在硅片上淀积Si_3H_4薄膜.已经得到了具有与使用低压化学气相淀积(LPCVD)法得到的薄膜相当的物理和...
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