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Development of 4GHz Bulk Acoustic Wave Resonatoors by Sputtered Pb(Mn,Nb)O3-Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films
[会议论文] 作者：Tomoaki Matsushima,Norihiro Yamuchi,Takeo Shirai,Takaaki Yoshihara,Yoshiki Hayasaki,Lsaku Kanno,Kiyotaka, 来源：2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE 年份：2008
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