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[期刊论文] 作者：W、M.HUANG,敖玉贵,
来源：微电子学 年份：1991
本文介绍了一种单层多晶硅作基极和发射极接触的新型、高性能硅双极晶体管的实验结果,我们把这种结构叫做STRIPE(自对准开槽隔离多晶硅电极)。已提供的发射极/基极多晶硅接触...
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