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[期刊论文] 作者：C.A.Martin,W.L.Weingaertner,G.A.R.De Jesus R.L.,张明亮,
来源：国防科技参考 年份：1997
本文主要讨论如何通过定位控制改善亚微米级定位装置的静态和动态特性。主要讨论能够实现亚微米级的定位精度、重复精度和无超调的快速暂态响应的控制策略。在亚微米定位的...
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