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[期刊论文] 作者：戴高良,KOENDERS Ludger,DANZEBRINK Ulrich,WILKENING Günter,周健雄,陈振宇,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2006
为了建立质量保证体系,微米和纳米样板至今仍被广泛地应用于校准微纳米尺度的测量仪器中．介绍了应用由德国联邦物理研究所开发研究的、测量范围为25 mm×25 mm×5 mm的计量型...
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