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[期刊论文] 作者：Luc Chassagne,Suat Topcu,Yasser Alayli,许素安,,
来源：中国计量学院学报 年份：2006
提出了一种基于高频相移电子电路驱动的压电陶瓷执行器和外差式迈克尔逊激光干涉仪的纳米位置控制方法,该方法结合双轴机械传输导轨组成了高精度大量程纳米定位系统.系统实现...
[期刊论文] 作者：许素安,Luc Chassagne,Suat Topcu,Yasser Alayli,李东升,,
来源：中国计量学院学报 年份：2009
详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长...
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