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[期刊论文] 作者：吴宇虎,宋玲根,陈亮,宗祥福,Yi-HsinPao,
来源：固体电子学研究与进展 年份：2000
考虑到铝材料的应用在微电子等众多领域中的重要地位以及由于这类材料质地的柔软性而引起的制样困难 ,为了在几十纳米线度的水平上观察分析铝材料内部微结构状况及其变化规律...
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