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[会议论文] 作者:ZHENG Qiuyan,WANG Shaobo,LI Xiangyu,郑秋艳,王少波,李翔宇,ZHUANG Hongtac,YANG Kang,FANG Hua,庄鸿涛,杨康,方华,ZHOU Pengyun, 来源:全国特种气体第十六次年会 年份:2012
  介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法...
[会议论文] 作者:ZHENG Qiuyan,郑秋艳,WANG Shaobo,王少波,LI Xiangyu,李翔宇,ZHUANG Hongtac,庄鸿涛,YANG Kang,杨康,FANG Hua,方华,ZHOU Pengyun, 来源:全国特种气体第十六次年会 年份:2012
介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。......
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