搜索筛选:
搜索耗时0.8347秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 51 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：张明高,涂叔鼎,谢茂浓,龙汉仪,张启友,
来源：四川大学学报：自然科学版 年份：1993
研究了建立低频段阻抗标准的问题，提出了以金属膜电阻器建立阻抗标准的设想；由这类电阻器建立的低频段阻抗标准，不确定度达５×１０＾－４或更高，具有频率范围宽，准确度高等优点，可实现低频......
[期刊论文] 作者：彭志坚,司文捷,谢茂浓,傅鹤鉴,苗赫濯,
来源：物理化学学报 年份：2004
设计了metal-polysilane-silicon (MPS)结构.首次发现MPS结构具有电容-电压(C-V)特性,许多MPS结构的C-V曲线平带电压为正,且其C-V特性与聚硅烷枝化度一致,即随着聚硅烷枝化度...
[会议论文] 作者：曾红梅,傅鹤鉴,马洪,谭建,苏志珊,谢茂浓,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
用自制的聚硅烷为抗蚀剂，分别用酚醛树脂、聚氨脂树脂和醇酸树脂作平坦层以３０８ｎｍＸｅＣｌ准分子激光为刻蚀光源，采用接近式曝光方式，通过Ｏ〈，２〉－ＲＩＥ对显影后图形进行处理，实现了亚微一宽的掩模图形向......
[期刊论文] 作者：彭志坚,司文捷,谢茂浓,傅鹤鉴,苗赫濯,
来源：物理化学学报 年份：2003
设计了metal-polysilane-silicon(MPS)结构.首次发现MPS结构具有电容-电压(C-V)特性,许多MPS结构的C-V曲线平带电压为正,且其C-V特性与聚硅烷枝化度一致,即随着聚硅烷枝化度...
[会议论文] 作者：傅鹤鉴,马洪,谭建,苏志珊,谢茂浓,曾红梅,
来源：第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 年份：1999
用自制的聚硅烷为抗蚀剂，分别用酚醛树脂、聚氨脂树脂和醇酸树脂作平坦层以３０８ｎｍＸｅＣｌ准分子激光为刻蚀光源，采用接近式曝光方式，通过Ｏ〈，２〉－ＲＩＥ对显影后图形进行处理，实现了亚微一宽的掩模图形向......
[会议论文] 作者：谢茂浓[1]彭志坚[2]唐琳[1]傅鹤鉴[2],
来源：中国化学会全国第五届无机化学学术会议 年份：2000
用低温等离子体处理聚硅浣涂层成功地制备了SiO膜.IR谱给出Si-O键的吸收峰波数随氧等离子体处理时间不同在1065-1088cm范围变化;XPS谱给出Si2p的结合能为103.3-103.5eV,硅氧...
[期刊论文] 作者：石瑞英,龚敏,伍登学,马瑶,袁菁,万超,谢茂浓,
来源：高等教育发展研究 年份：2007
21世纪是信息时代，微电子技术是21世纪信息时代的关键技术之一，也是现代一个国家综合实力的衡量标准。国家把微电子技术列为21世纪初重点发展的新技术，力争通过10年的时间，使我国......
[会议论文] 作者：傅鹤鉴,马洪,彭志坚,苏志珊,曾红梅,谢茂浓,
来源：中国化学会全国第五届无机化学学术会议 年份：2000
用“顺点滴式”方法改进了单体合居,较原“全混式”提高了产率,降低了消耗;用Wurtz法以二氯硅烷和三氯硅烷为原料,经“预聚”和“混聚”二种方式合成了枝状聚硅烷....
[期刊论文] 作者：傅鹤鉴,李高全,谭键,马洪,陈德本,谢茂浓,
来源：四川大学学报(自然科学版) 年份：1997
采用３０８ｎｍＸｅＣｌ准分子激光研究了聚硅烷溶液和聚硅烷薄膜的光降解反应，利用玻璃片为基底，旋转涂布，分别以酚醛树脂和聚氨酯为平坦层，以聚硅烷为成像层和阻挡层，构成双层工艺，进行接近式曝光，用......
[期刊论文] 作者：向少华,谢茂浓,张明高,廖伟,彭志坚,傅鹤鉴,
来源：半导体技术 年份：2001
氧等离子体处理高阻P型〈100〉硅片上的聚硅烷涂层制备SiO2/Si结构。其MOS结构平带电压随氧等离子体处理时间、反应室气压、射频功率等条件的改变而变化，平带电压最小可达-0.5...
[期刊论文] 作者：马洪,苏志珊,曾红梅,彭志坚,傅鹤鉴,陈德本,谢茂浓,
来源：四川大学学报(自然科学版) 年份：2001
用'顺点滴式'方法改进了单体合成,较原'全混式'提高了产率,降低了消耗;用Wurtz法以二氯硅烷和三氯硅烷为原料,经'预聚'和'混聚'二种方式合...
相关搜索：
