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[期刊论文] 作者:夏立芳,于伟东,孙跃, 来源:真空科学与技术 年份:2001
采用非平衡磁控溅射及射频激励产生金属等离子体,在单晶基体Si上等离子体基离子注入钼。选择不同的靶基距,即不同的Mo沉积速率,研究了沉积速率对Si中Mo注入层的影响,用X光电子能......
[期刊论文] 作者:于伟东,夏立芳,孙跃, 来源:Transactions of Nonferrous Metals Society of China 年份:2001
The implantation of Cu into Si substrate was carried out by plasma-based ion implantation (PBII) using unbalanced magnetron sputtering (UBMS) cathode as the met...
[期刊论文] 作者:夏立芳,李光,马南, 来源:材料科学与工艺 年份:2000
总结了各种DLC膜的热稳定性及分析手段 ,概述了加热退火情况下DLC膜结构、内应力的变化 ,评述了国内外的最新研究进展 ,并指出了有待进一步研究的问题The thermal stabilit...
[期刊论文] 作者:李刘合,夏立芳,白羽,, 来源:真空科学与技术学报 年份:1999
[期刊论文] 作者:李刘合,夏立芳,白羽,, 来源:真空科学与技术学报 年份:1999
[期刊论文] 作者:孙明仁,夏立芳,孙跃,, 来源:真空科学与技术学报 年份:1999
[期刊论文] 作者:白羽,夏立芳,熊仁章, 来源:材料科学与工艺 年份:1999
运用多弧离子镀在W6Mo5Cr4V2 高速钢表面沉积了(Ti,Al)N 镀层,并经SEM、XRD 和EDS等方法分析表明,多靶联合工作获得的(Ti,Al)N 镀层,其成分可连续变化,随弧流增大,铝含量增多;随负偏压增大,铝含量降低.弧流与偏压二者对镀......
[期刊论文] 作者:王永康,夏立芳,刘万怀, 来源:兵器材料科学与工程 年份:1992
运用空心阴极离子镀方法在M2钢表面沉积了(Ti,Al)N涂层,并用SEM、XRD、TEM和XPS等方法分析了(Ti,Al)N涂层的组织结构和组份。结果表明,(Ti,Al)N为面心立方结构,其组织呈细柱...
[期刊论文] 作者:孙琦,夏立芳,马欣新, 来源:材料科学与工艺 年份:2003
为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响,应用Auger电子能谱(AES)剖面分析,测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等离子体基离子注入(PBII)的保留剂量分布.由...
[期刊论文] 作者:廖家轩,夏立芳,孙跃, 来源:摩擦学学报 年份:2001
对铝合金LY12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入,从而在铝合金表面形成氮化铝(AlN)/类金刚石碳膜(DLC)改性层.考察了改性层的硬度及其在不同载荷下的滑动摩擦磨损...
[期刊论文] 作者:王永康,程祥宇,夏立芳, 来源:材料工程 年份:1993
本文用物理气相沉积方法在高速钢表面沉积了新型耐磨涂层材料(Ti,Al)N,研究了涂层工艺对涂层耐磨性的影响和(Ti,Al)N涂层的磨损特征。...
[期刊论文] 作者:孙琦,马欣新,夏立芳, 来源:材料科学与工艺 年份:2001
利用流体动力学模型,研究了围绕菱形靶的等离子体鞘层扩展.通过改变靶的形状,考察了不同角度外角对鞘层的时空演化及等离子体参量的影响.结果表明,外角愈尖锐,鞘层扩展速度愈...
[期刊论文] 作者:颜朝晖,廖家轩,夏立芳, 来源:中国有色金属学报 年份:2002
用XPS和GXRD研究了铝合金等离子体基离子注氮后再注入氮钛最后复合注入氮和钛改性层的成分深度分布及相结合,用XTEM观察了改性层截面的组织结构,用AFM观察了改性层的表面形貌,在......
[期刊论文] 作者:阎牧夫,夏立芳,祖国成,, 来源:物理测试 年份:1990
本文利用X射线衍射法测定了不同离子渗氮条件下,纯铁在氨气中离子渗氮后的表面氮浓度。结果表明:提高离子渗氮电流密度及降低离子渗氮温度,表面氮浓度升高。时间和气压的变化...
[期刊论文] 作者:廖家轩,夏立芳,孙跃, 来源:金属学报 年份:2001
用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改性层的成分分布及相结构,用激光Raman光谱分...
[期刊论文] 作者:廖家轩,夏立芳,孙跃, 来源:哈尔滨工业大学学报 年份:2002
用X射线光电子能谱(XPS)研究了工艺参数(注入电压或能量、注入时间或剂量、磁控靶溅射电流)对铝合金LY12(即2024)等离子体基离子注入氮+离子注入钛形成的改性层成分分布影响....
[期刊论文] 作者:李光,孙跃,夏立芳,高超, 来源:材料科学与工艺 年份:2003
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/DLC膜大气下的摩擦性能在球盘式摩擦磨损试...
[期刊论文] 作者:廖家轩,夏立芳,孙跃, 来源:金属热处理学报 年份:2001
通过X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GXRD)分析测定了铝合金LY12等离子体基离子注入氮再注入钛的改性层成分分布及相组成.测量了纳米硬度,进行了摩擦磨损试验及磨...
[期刊论文] 作者:廖家轩,夏立芳,孙跃, 来源:材料科学与工艺 年份:2004
用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成AIN/TiN改性层的成分分布及相结构.在此基础上测量了改性层的纳米硬度,并进行了摩...
[期刊论文] 作者:田晶泽,吕反修,夏立芳, 来源:物理学报 年份:2001
采用磁增强活性反应离子镀系统成功地合成了立方氮化硼薄膜 .通过给基片施加脉冲直流偏压以代替传统的射频偏压 ,增强了立方氮化硼的成膜稳定性 ,研究了基片的直流脉冲偏压、...
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