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[会议论文] 作者：吴嘉丽,武蕊,
来源：四川省电子学会传感技术第十届学术年会 年份：2007
本文阐述用光刻、湿法腐蚀和键合等微细加工技术进行微全分析系统中微通道的研制过程。采用SU-8胶和硅材料制作出了作为聚二甲基硅氧烷的母模板。在优质玻璃材料上制作出微通...
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