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[期刊论文] 作者：王睿,唐思文,刘德顺,刘骞,卞凯,李佩真,
来源：表面技术 年份：2021
目的探索基于原子层沉积法(Atomic Layer Deposition, ALD)的纳米涂层低温制备技术,并重点研究涂层沉积过程及纳米氧化铝涂层对刀具力学性能的影响。方法利用原子层沉积法,在...
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