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[期刊论文] 作者:张恩霞, 孙佳胤, 易万兵, 陈静, 金波, 陈猛, 张正选, 来源:功能材料与器件学报 年份:2004
采用氧氮共注的方法制备了氮氧共注隔离 SOI (SIMON) 圆片,对制备的样品进行了二次离 子质谱和透射电镜分析,并对埋层结构与抗辐射性能的机理进行了分析.结果表明,注氮剂量较...
[期刊论文] 作者:张恩霞,孙佳胤,易万兵,陈静,金波,陈猛,张正选,张国强,王曦, 来源:功能材料与器件学报 年份:2004
采用氧氮共注的方法制备了氮氧共注隔离SOI(SIMON)圆片,对制备的样品进行了二次离子质谱和透射电镜分析,并对埋层结构与抗辐射性能的机理进行了分析。结果表明,注氮剂量较低...
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