搜索筛选:
搜索耗时1.1188秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 3 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,余隽,汪家奇,,
来源：光学精密工程 年份：2008
研究了微热板的传热特性，从理论上分析了恒温模式下工作温度和结构尺寸对微热板电阻真空传感器工作特性的影响。设计了一种边长为93μm、四臂支撑的方形微热板结构的电阻真空...
[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,汪家奇,余隽,
来源：半导体学报 年份：2008
设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片.提出了一种以CMOS集成电路中的介质层与钝化层为结构层、栅多晶硅为牺牲层、第二层多晶硅为加热电...
[期刊论文] 作者：张凤田,唐祯安,汪家奇,余隽,,
来源：半导体学报 年份：2008
设计了一种工作在恒电压模式的、微热板结构的单片集成电阻真空传感器芯片.提出了一种以CMOS集成电路中的介质层与钝化层为结构层、栅多晶硅为牺牲层、第二层多晶硅为加热电...
相关搜索：
