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[学位论文] 作者：张加涛,,
来源：清华大学 年份：2006
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[学位论文] 作者：张加涛,
来源：南京理工大学 年份：2006
移相干涉技术(PSI)是计量测试特别是三维形貌测量中高精度、高灵敏度的测量方法。它采用非接触式的测量手段，广泛的应用于多种物理量的测试，在高精度光学检验测量中占有重要的......
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