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[期刊论文] 作者：王广甫,张荟星,
来源：真空科学与技术 年份：2003
提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响,结果同实验符合的很好....
[期刊论文] 作者：王广甫,张荟星,
来源：真空科学与技术 年份：2003
介绍了阴极真空弧沉积中,弧源在阴极接地和阳极接地两种不同工作状态下的工作特性.发现阳极接地时,因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用,聚焦磁场对弧源放电稳定性的影响不如阴...
[期刊论文] 作者：王广甫,张荟星,
来源：发光学报 年份：2003
掺N非晶金刚石Ta-C(N)薄膜是合成β-C3N4研究中出现的一种新型固体薄膜材料,近年来由于其优异的电化学性能受到越来越多的关注.我们用磁过滤阴极真空弧等离子体沉积(FCVAD)方...
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