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[期刊论文] 作者:A.Gough,方石平, 来源:微电子学 年份:1987
细菌能够通过微孔筒式过滤器!因而在生产中进行超纯水清洗时能与半导体器件相接触。用腐物寄生细菌(Saprophytic)在最佳生长温度25℃时对超纯水进行污染,人们发现,污染的增加与...
[期刊论文] 作者:戴国瑞,吕德安,方石平,王艳阳,梁大成, 来源:固体电子学研究与进展 年份:1987
本文报导丁GaAs表面上淀积液态源PECVD-SiO2膜掩蔽Zn扩散的规律,估算了Zn在SiO2膜和GaAs中扩散系数的比值为(1.04~1.85)×10-3,在700℃下Zn在GaAs中的横向扩散为结深的3~7倍...
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