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[学位论文] 作者：李化鹏,,
来源：天津理工大学 年份：2007
声表面波(SAW)器件由于具有小型化、高可靠、多功能、一致性好等特点,在雷达、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视系统中已获得广泛的应用。由于目前通讯器件朝着高频化发展...
[期刊论文] 作者：于春花,陈希明,李化鹏,,
来源：天津理工大学学报 年份：2007
采用射频磁控溅射法在Si（100）衬底上制备了AlN薄膜,通过控制工艺参数可以沉积出不同择优取向的AlN薄膜,各工艺参数中射频功率对其择优取向的影响最大.XRD表征了AlN薄膜的结构,...
[期刊论文] 作者：李化鹏,孙大智,于春花,陈希明,杨保和,,
来源：天津理工大学学报 年份：2007
利用Monte Carlo方法对薄膜生长过程进行计算机模拟.模型针对粒子的沉积、吸附及粒子的扩散等过程,研究了粒子允许行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响.结果表明：随温度升高,...
[期刊论文] 作者：杨保和,徐娜,陈希明,薛玉明,李化鹏,,
来源：光电子.激光 年份：2007
采用射频磁控反应溅射工艺，在Si（400）衬底上制备了高c轴取向的AlN薄膜。用X射线衍射仪（XRD）分析了薄膜特征。研究了不同的Ar／N2比、衬底偏压、工作压强对AlN薄膜c轴择优取向的影响......
[期刊论文] 作者：杨保和,徐娜,陈希明,薛玉明,李化鹏,
来源：光电子.激光 年份：2007
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