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[期刊论文] 作者：李源, 陈李, 田颖, 赵斌, 王亚运,,
来源：压电与声光 年份：2016
基于硅-玻璃键合工艺的扭摆式加速度计,其信号输出对扭转梁上的应力极敏感,而微加工过程中由于硅、玻璃两种材料热膨胀系数不匹配,会在扭转梁上引入较大的热应力,进而引起加...
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