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[期刊论文] 作者：李若园,王占国,徐波,金鹏,张春玲,郭霞,陈敏,
来源：半导体学报 年份：2005
对垂直腔面发射激光器（VCSEL）的AlxGa1-xAs／GaAs分布布拉格反射镜（DBR）进行了高温湿法氧化．由于AlxGa1-xAs层的氧化产生了应力而导致Al2O3／GaAs界面处出现了孔洞．这些孔洞反过来又缓......
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