搜索筛选:
搜索耗时0.9071秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 3 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者：梁友生,,
来源： 年份：2005
集成电路的密集程度和性能指标按摩尔定律(Moor’s Law)成几何级数快速增长,它强力推动着整个IT行业的高速发展。光刻技术在集成电路中有着举足轻重的作用,是集成电路工业的...
[期刊论文] 作者：梁友生,曹益平,周金梅,邢廷文,
来源：微纳电子技术 年份：2005
为了改善对准精度,对100 nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中.掩模硅片自动对准算法决定机器坐...
[期刊论文] 作者：梁友生,曹益平,周金梅,邢廷文,
来源：微细加工技术 年份：2005
介绍了投影光刻机离轴对准系统的结构和相位探测的原理,详细讨论了电光相位调制技术抑制杂散光的机理,并分析比较了有无杂散光对光刻对准精度的影响.结果表明,使用电光调制技...
相关搜索：
