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[学位论文] 作者:梁友生,,
来源: 年份:2005
集成电路的密集程度和性能指标按摩尔定律(Moor’s Law)成几何级数快速增长,它强力推动着整个IT行业的高速发展。光刻技术在集成电路中有着举足轻重的作用,是集成电路工业的...
[期刊论文] 作者:梁友生,曹益平,周金梅,邢廷文,
来源:微纳电子技术 年份:2005
为了改善对准精度,对100 nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中.掩模硅片自动对准算法决定机器坐...
[期刊论文] 作者:梁友生,曹益平,周金梅,邢廷文,
来源:微细加工技术 年份:2005
介绍了投影光刻机离轴对准系统的结构和相位探测的原理,详细讨论了电光相位调制技术抑制杂散光的机理,并分析比较了有无杂散光对光刻对准精度的影响.结果表明,使用电光调制技...
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