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[期刊论文] 作者:刘建明,周旭,池华敬,陈革,章其初,, 来源:真空 年份:2012
本文计算了内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管在烘烤排气过程中的排气量,提出了一种定量表征其真空品质的方法,然后通过集热管高温烘烤———加速老化实验对其真空性能进行了验...
[期刊论文] 作者:刘洪金,池华敬,郭帅,陈革,章其初,, 来源:真空与低温 年份:2012
采用PEV-1型压电陶瓷阀作为溅射气体Ar流量输出的驱动元件,用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒压力控制。应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有...
[期刊论文] 作者:池华敬,郭帅,熊凯,王双,陈革,章其初,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2012
在沉积不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳吸收集热管的磁控溅射三靶镀膜机上,安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,实现反应溅射Al2O3稳定反馈控制。采用国产直流电源在Al靶表...
[期刊论文] 作者:池华敬,郭帅,熊凯,王双,周旭,苗建朋,陈革,章其初,, 来源:真空 年份:2012
采用真空磁控溅射沉积SS-AlN金属陶瓷太阳选择性吸收涂层。涂层光学功能层的制备,先采用铜靶溅射Cu红外反射层;再采用不锈钢(SS)和铝两金属靶在Ar和N2的混合气体中同时溅射沉...
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