搜索筛选:
搜索耗时0.7549秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
发布年度:
[期刊论文] 作者：孙书龙,杨会生,王燕斌,熊小涛,
来源：真空科学与技术 年份：2003
采用霍尔离子源沉积类金刚石薄膜是近年来新出现的一种方法,本文研究了自行研制的霍尔离子源的性能以及采用此离子源制备类金刚石薄膜及工艺参数的影响.结果表明,霍尔离子源...
相关搜索：
